Title

Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Verbundprojekt 1992-1994. Abschlußbericht

Corporate Author
Cadlab, Paderborn
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
Publisher
Publishing Place
Teltow
Publication Date
1994
Series
Innovationen in der Mikrosystemtechnik; 19