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Verbundprojekt: Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland - Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz-Instituten FBH und IHP - FMD -, Teilvorhaben der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. in der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland