Title

Laser-based Micro- and Nanopackaging and Assembly VI
Titel Supplements
San Francisco, California, USA, January 2012
Hrsg
Bachmann, F.G.
Institut
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.
Verlag
Verlagsort
Bellingham, WA
Datum
2012
Serie
Proceedings of SPIE
ISBN
978-0-8194-8887-9
Konferenz