Title

Dünnschichttechnologien '92. Statusseminar. Berichte zu F+E-Projekten aus dem Förderbereich Physikalische Technologien des Bundesministeriums für Forschung und Technologie

Person Involved

Corporate Author

VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf

Publisher

Publishing Place

Düsseldorf

Publication Date

1992

Series

VDI-TZ-Proceedings

ISBN

3-18-401249-2

Conference

Statusseminar Dünnschichttechnologien 1992