Title

MicroMat 2000. Proceedings 3rd International Conference and Exhibition Micro Materials
Titel Supplements
April 17 - 19, 2000, Berlin, Germany
Institut
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin
Verlag
Verlagsort
Dresden
Datum
2000
ISBN
3-932434-15-3
Konferenz