Title

Mikro-Nano-Integration. CD-ROM

Title Supplement
Beiträge des 2. GMM-Workshops. 3. - 4. März 2010 in Erfurt
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2010
Series
GMM-Fachbericht; 63
ISBN
978-3-8007-3216-6
Conference