Options
Title
Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen
Title Supplement
Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Corporate Author
Deutsche Forschungsgemeinschaft -DFG-, Bonn
Univ. Erlangen-Nürnberg, Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik
Publisher
Publishing Place
Aachen
Publication Date
2011
ISBN
978-3-8440-0358-1