Title

Mikrosystemtechnik Chemnitz '03. Mikromechanik & Mikroelektronik

Title Supplement

6. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 29./30. Oktober 2003

Person Involved

Corporate Author

TU Chemnitz

Publisher

Techn. Univ., Fak. für Elektrotechnik und Informationstechnik

Publishing Place

Chemnitz

Publication Date

2003

ISBN

3-00-011655-9

Conference

Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2003