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Fraunhofer-Gesellschaft
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Options
Patent
Title

Verfahren zur Herstellung einer Aluminiumschicht und optisches Element

Other Title
Method of manufacturing an aluminum layer and optical element
Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Aluminiumschicht beschrieben, umfassend die Schritte:- Aufbringen einer metallischen Keimschicht auf ein Substrat, wobei die Keimschicht eine Dicke von nicht mehr als 5 nm aufweist, und- Aufbringen der Aluminiumschicht auf die Keimschicht, wobei die Aluminiumschicht eine Dicke von mehr als 30 nm aufweist. Weiterhin wird ein optisches Element mit der Spiegelschicht angegeben.
Inventor(s)
Stempfhuber, Sven  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Gäbler, Dieter  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Schenk, Paul
Munzert, Peter  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Schwinde, Stefan  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
Link to:
Espacenet
Patent Number
DE102019122078 A1
Publication Date
February 18, 2021
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
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