Photoakustische Spektroskopie an Gasgemischen über abstimmbares Fabry-Pérot-Interferometer

Die Erfindung betrifft bevorzugt ein photoakustisches Spektrometer zur Analyse mehrerer Gaskomponenten eines Gasgemisches, umfassend einen Infrarot-Emitter mit einem Mikro-Heizelement, eine mit dem Gasgemisch befüllbare Messzelle und einen Schalldruckdetektor wobei die Messzelle im Strahlengang des Infrarot-Emitters vorliegt, sodass die von dem Infrarot-Emitter emittierbare Infrarotstrahlung Gas in der Messzelle zur Ausbildung von Schalldruckwellen anregen kann, welche mit Hilfe des Schalldruckdetektors messbar sind. Das photoakustische Spektrometer ist dadurch gekennzeichnet, dass der Infrarot-Emitter ein MEMS Fabry-Pérot-Interferometer umfasst, welches auf dem Mikro-Heizelement monolithisch integriert vorliegt und mit welchem eine zeit- und wellenlängenabhängige Modulation der Infrarotstrahlung ermöglicht wird. Weiterhin betrifft die Erfindung bevorzugt ein Verfahren zur Analyse mehrerer Gaskomponenten mittels eines solchen photoakustischen Spektrometers.