Einseitiger Deckelantrieb

Die Erfindung betrifft ein mikroelektromechanisches System (MEMS) mit vereinfachter Aufbau- und Verbindungstechnik. Im Gegensatz zu bekannten Lösungen, die zwei Antriebsstrukturen und damit eine erhöhte Waferanzahl erfordern, wird ein MEMS-Wandler mit einseitiger Antriebsstruktur bereitgestellt. Die Elektroden werden mittels Oberflächentechnologie realisiert und übernehmen gleichzeitig die Funktion der Antriebselektroden und der akustischen bzw. fluidischen Abschlussschicht. Dadurch wird die Anzahl benötigter Wafer signifikant reduziert - entweder auf eine einzelne Scheibe (BSOI Wafer) oder auf maximal zwei Scheiben mit einer Bondung. Die Elektroden sind reißverschlussartig (interdigital) angeordnet und erzeugen durch asymmetrische Geometrie die notwendige Antriebskraft. Die Erfindung ermöglicht eine wesentliche Reduktion der Herstellungskomplexität und -kosten bei Mikrolautsprechern, Mikropumpen und Ultraschallwandlern.

The invention relates to a microelectromechanical system (MEMS) with simplified assembly and connection technology. In contrast to known solutions that require two drive structures and thus an increased number of wafers, a MEMS transducer with a single-sided drive structure is provided. The electrodes are realized using surface technology and simultaneously perform the function of drive electrodes and acoustic or fluidic cover layer. This significantly reduces the number of required wafers - either to a single wafer (BSOI wafer) or to a maximum of two wafers with one bonding step. The electrodes are arranged in an interdigital (zipper-like) pattern and generate the necessary driving force through asymmetric geometry. The invention enables a substantial reduction in manufacturing complexity and costs for micro speakers, micro pumps, and ultrasonic transducers.