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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Kapazitive Kraftmessvorrichtung mit elastischem Dielektrikum
 
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Patent
Title

Kapazitive Kraftmessvorrichtung mit elastischem Dielektrikum

Abstract
Die vorliegende Offenbarung betrifft eine kapazitive Kraftmessvorrichtung (100), aufweisend einen mehrlagigen Folienschichtstapel (110) mit einer ersten Folienschicht (111), einer zweiten Folienschicht (112), und einem zwischen den Folienschichten (111, 112) angeordneten Dielektrikum (113), das unter Krafteinwirkung elastisch verformbar ist. Die erste Folienschicht (111) und die zweite Folienschicht (112) weisen jeweils Sensor-Elektrodenstrukturen (121,122) auf, die dem Dielektrikum (113) zugewandt sind und sich jeweils paarweise gegenüberliegen, wobei jedes Sensor-Elektrodenstruktur-Paar (120) jeweils eine mit deren Elektrodenabstand d veränderliche Kapazität aufweist. Eine Steuereinheit (140) ist ausgestaltet, um eine Verformung des Dielektrikums (113) anhand einer Kapazitätsänderung der Sensor-Elektrodenstruktur-Paare (120) zu erfassen und basierend hierauf eine für die Verformung ursächliche Kraft zu ermitteln.
Inventor(s)
Landesberger, Christof  
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Wenninger, Franz  
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Meltzer, Elias
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Ansorge, Frank
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Link to:
Espacenet
Patent Number
DE102023202415 A1
Publication Date
September 19, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
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