Telezentrische Abbildung mehrere Lichtstrahlen in einen Zielbereich

Die vorliegende Anmeldung betrifft eine Abbildungsvorrichtung zum telezentrischen Abbilden mehrere Lichtstrahlen in einen Zielbereich sowie eine zugehörige Mikrospiegelvorrichtung. Die Abbildungsvorrichtung umfasst ein Strahlneigungskorrekturelement und eine Strahlsteuereinrichtung, die dazu eingerichtet ist, N >= 2 im Wesentlichen nicht-überlappende Lichtstahlen auf das Strahlneigungskorrekturelement abzubilden und eine Position eines oder mehrere der N Lichtstahlen auf dem Strahlneigungskorrekturelement zu steuern. Die Abbildungsvorrichtung umfasst ferner eine Strahlabbildungseinrichtung, die dazu eingerichtet ist, die von dem Strahlneigungskorrekturelement korrigierten Lichtstrahlen auf den Zielbereich abzubilden, wobei das Strahlneigungskorrekturelement dazu eingerichtet ist, eine Neigung der N Lichtstrahlen jeweils so zu korrigieren, dass die N Lichtstrahlen auf im Wesentlichen nicht-überlappende Positionen im Zielbereich abgebildet werden. Das Strahlneigungskorrekturelement kann z.B. durch eine Mikrospiegelvorrichtung implementiert sein.