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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren zur Behandlung von porösen Graphitsubstraten sowie behandeltes Substrat und dessen Verwendung
 
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Patent
Title

Verfahren zur Behandlung von porösen Graphitsubstraten sowie behandeltes Substrat und dessen Verwendung

Other Title
Method for treating porous graphite substrates and treated substrate and use thereof
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von porösen Graphitsubstraten, bei welchem mindestens eine Folie bereitgestellt wird, wobei die mindestens eine Folie Silicium-Partikel und mindestens ein Bindemittel enthält, die mindestens eine Folie auf mindestens eine Oberfläche eines porösen Graphitsubstrats aufgebracht wird, und die mindestens eine aufgebrachte Folie mindestens einer Wärmebehandlung unterzogen wird, bei welcher die Silicium-Partikel zu einer Schmelze aufschmelzen, die zumindest teilweise in Poren des porösen Graphitsubstrats infiltriert, wobei in der Schmelze enthaltendes Silicium zumindest teilweise in Siliciumcarbid umgewandelt wird. Zudem betrifft die vorliegende Erfindung auch ein behandeltes Substrat sowie dessen Verwendung.
Inventor(s)
Sturm, Felix
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Reimann, Christian  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Seimetz, Chloé
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Trempa, Matthias  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Link to:
Espacenet
Patent Number
EP4653411 A1
Publication Date
November 26, 2025
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
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