Verfahren zum Abscheiden einer thermochromen Vanadiumdioxidschicht auf einem Glassubstrat

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer thermochromen Vanadiumdioxid-Schicht auf einem Glassubstrat (101) innerhalb einer Arbeitskammer, wobeia) das Glassubstrat (101) innerhalb der Arbeitskammer an einer Beschichtungseinrichtung (103) vorbeigeführt;b) Sauerstoff durch mindestens einen Einlass (106) in die Arbeitskammer eingelassen;c) das Glassubstrat (101) vor der Schichtabscheidung mittels mindestens einer Heizeinrichtung (105) erwärmt;d) innerhalb der Beschichtungseinrichtung (103) ein Target aus Vanadium oder Vanadiumoxid mittels mindestens eines Magnetrons zerstäubt;e) nach der Schichtabscheidung mittels mindestens einer auf einer Seite des Glassubstrates (101) angeordneten Leuchteinrichtung (108) Lichtstrahlung, welche mit einem menschlichen Auge erfassbar ist, ausgesendet; mittels eines ersten Sensors (109) auf der anderen Seite des Glassubstrates (101) ein erster Istwert für die Transmission der Lichtstrahlung erfasst; innerhalb einer Auswerteeinrichtung der erste Istwert für die Transmission mit einem ersten Sollwert für die Transmission verglichen und in Abhängigkeit vom diesem ersten Vergleichsergebnis der Sauerstofffluss durch den mindestens einen Einlass (106) in die Arbeitskammer geregelt wird und wobeif) nach der Schichtabscheidung noch vor dem ersten Sensor (109) mittels eines zweiten Sensors (110) ein zweiter Istwert für die Temperatur des Glassubstrates (101) erfasst, innerhalb der Auswerteeinrichtung mit einem zweiten Sollwert für die Temperatur des Glassubstrates (101) verglichen und in Abhängigkeit vom zweiten Vergleichsergebnis der Sauerstofffluss durch den mindestens einen Einlass (106) in die Arbeitskammer geregelt wird.