Federstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Federstruktur, kapazitiver Drucksensor und Verfahren zur Herstellung eines kapazitiven Drucksensors

Gemäß einem Ausführungsbeispiel umfasst ein Verfahren zur Herstellung einer Federstruktur (Glasfederstruktur) folgende Schritte: - Bereitstellen eines Formsubstrats und eines ein Glasmaterial aufweisendes Abdeckungssubstrats, die miteinander verbunden sind, wobei ein Oberflächenbereich des Formsubstrats und/oder des Abdeckungssubstrats strukturiert ist, um eine abgeschlossene, umlaufende Kavität zwischen dem Abdeckungssubstrat und dem Formsubstrat zu bilden, - Tempern des Abdeckungssubstrats und des Formsubstrats, um die Viskosität des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats zu verringern, und Bereitstellen eines Überdruckes in der abgeschlossenen, umlaufenden Kavität gegenüber der Umgebungsatmosphäre, um basierend auf der verringerten Viskosität des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats und dem Überdruck in der abgeschlossenen, umlaufenden Kavität gegenüber der umgebenden Atmosphäre ein Auswölben des Glasmaterials des Abdeckungssubstrats ausgehend von der abgeschlossenen, umlaufenden Kavität zu bewirken, um ein mit einer umlaufenden Glasauswölbung versehenes Abdeckungssubstrat zu erhalten, und - Entfernen des Formsubstrats von dem Abdeckungssubstrat, um die Federstruktur mit der umlaufenden Glasauswölbung zu erhalten.