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February 27, 2025
Journal Article
Title
Beschichtungsprozesse für Ultraschallsensoren digitalisieren
Abstract
Piezoelektrische Schichten spielen eine Schlüsselrolle in der Medizintechnik, Mikroelektronik und Sensorik, etwa bei der Herstellung von Ultraschallmikroskopen. Um steigende Anforderungen an die Qualität und Reproduzierbarkeit dieser Schichten zu meistern, entwickeln Forschende einen digitalen Zwilling des Beschichtungsverfahrens für piezoelektrische Dünnschichten.
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