Kryo-kompatible Quanten-Computing-Anordnung und Verfahren zum Herstellen einer Kryo-kompatiblen Quanten-Computing-Anordnung

Eine kryo-kompatible Quanten-Computing-Anordnung (100) umfasst eine mikroelektronischen Quanten-Computing-Komponente (110) mit einer Substratstruktur (10), einer Mehrzahl von ersten Kontaktelementen (20-1), und einer Mehrzahl von leitfähigen Durchführungen (30) durch die Substratstruktur (10), wobei die leitfähigen Durchführungen (30) an einem ersten Hauptoberflächenbereich (10-1) der Substratstruktur (10) mit zugeordneten ersten Kontaktelementen (20-1) der mikroelektronischen Quanten-Computing-Komponente (110) elektrisch verbunden sind, und einer weiteren mikroelektronischen Komponente (120) mit einer Mehrzahl von zweiten Kontaktelementen (20-2), wobei an einem zweiten Hauptoberflächenbereich (10-2) der Substratstruktur (10) die leitfähigen Durchführungen (30) mit zugeordneten zweiten Kontaktelementen (20-2) der weiteren mikroelektronischen Komponente (120) elektrisch verbunden sind, und wobei die leitfähigen Durchführungen (30) jeweils zwischen dem ersten und zweiten Kontaktelement ein Schichtelement (30-1) mit einem ersten Material aufweist, das bei einer Quantencomputer-Betriebstemperatur supraleitend ist, und ein Füllelement (30-2) mit einem zweiten Material aufweist, das elektrisch leitend ist.