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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren zur Herstellung einer porösen Lithiumschicht

Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung einer porösen Lithiumschicht, umfassend die Schrittea) Bereitstellen eines Substrats umfassend mindestens eine mit einer porösen Lithiumschicht zu beschichtende Oberfläche,b) Behandeln der mindestens einen mit einer porösen Lithiumschicht zu beschichtenden Oberfläche mit einem mittels einer Plasmaquelle erzeugten Plasma bei einem Druck von 100mbar oder kleiner,c) Temperieren des Substrats auf eine Temperatur von kleiner als 180 °C, undd) Abscheiden einer porösen Lithiumschicht auf der mindestens einen in Schritt b) mit einem Plasma behandelten Oberfläche des Substrats bei einem Druck von 100 mbar oder kleiner.
Inventor(s)
Saager, Stefan  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Decker, Ludwig  
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Tenbusch, Matthias
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20230907&CC=DE&NR=102022104935A1&KC=A1
Patent Number
DE102022104935 A1
Publication Date
September 7, 2023
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
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