Verfahren und System zur Inspektion eines in einem Fluid angeordneten Objekts

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion eines in einem Fluid mit einer Trübung angeordneten Objekts mit den Schritten A) Erzeugen elektromagnetischer Strahlung mit einer Strahlungsquelle, B) Abstrahlen der elektromagnetischen Strahlung, C) Modulieren einer Amplitude oder einer Frequenz der elektromagnetischen Strahlung, D) Beleuchten einer Oberfläche des Objekts an einer Mehrzahl von Objektpunkten mit der modulierten elektromagnetischen Strahlung, wobei das Beleuchten der Oberfläche des Objekts entlang einer Beleuchtungsstrahlachse erfolgt, E) Fokussieren der von den Objektpunkten reflektierten elektromagnetischen Strahlung mit einer Optik mit einer Brennweite in Richtung eines Aufnehmers eines Detektors, wobei der Detektor eine Blende mit einer Blendenform in einer Blendenebene aufweist, wobei die Blendenebene um einen Detektorabstand von dem Aufnehmer beabstandet ist, wobei die Blendenebene um einen Blendenabstand von der Optik beabstandet ist, wobei das Fokussieren entlang einer Detektionsstrahlachse erfolgt, wobei die Beleuchtungsstrahlachse und die Detektionsstrahlachse einen Parallaxewinkel einschließen, wobei die Blende in einer Richtung senkrecht zu zumindest der Beleuchtungsstrahlachse oder der Blendenstrahlachse eine Blendenposition aufweist und wobei die Oberfläche des Objekts um einen Messabstand von dem Aufnehmer beabstandet ist, F) Erfassen der von der Oberfläche des Objekts reflektierten elektromagnetischen Strahlung mit dem Aufnehmer und für jeden aus der Mehrzahl von Objektpunkten G) Messen eines Maßes für eine Laufzeit der elektromagnetischen Strahlung von einem Referenzpunkt in einem Strahlengang der elektromagnetischen Strahlung zu dem jeweiligen Objektpunkt und H) Ausgeben des Maßes für die Laufzeit, wobei das Verfahren weiterhin die Schritte umfasst I) Erfassen eines Maßes für die Trübung des Fluids und J) Einstellen zumindest der Brennweite, des Blendenabstands, des Parallaxewinkels, der Blendenposition oder der Blendenform in Abhängigkeit von dem Maß für die Trübung.