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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Sensorisches Schichtsystem und Verwendungen hiervon

Abstract
Es wird ein sensorisches Schichtsystem bereitgestellt, das eine Grundschicht und eine Deckschicht aufweist und sich dadurch auszeichnet, dass die Grundschicht und/oder Deckschicht eine Multilagenschicht ist, die mindestens eine erste Schicht und mindestens eine zweite Schicht enthält oder daraus besteht, wobei die erste Schicht ein Material ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus diamantartiger Kohlenstoff, einen mit einem Metall, Halbmetall und/oder Gas modifizierten diamantartigen Kohlenstoff, und Kombinationen hiervon enthält oder daraus besteht und die zweite Schicht ein zur ersten Schicht verschiedenes Material enthält oder daraus besteht. Die erste Schicht und die zweite Schicht weisen jeweils eine Schichtdicke im Bereich von 1 nm bis 1000 nm auf. Durch die Multilagenschicht kann bei relativ flacher und kompakter Bauweise eine verbesserte elektrische Isolation und eine höhere Langzeitstabilität gegen Verschleiß gegenüber etablierten Einzel-Isolationsschichten bereitstellt werden, wodurch dessen Einsatzgrenzen erweitert werden.
Inventor(s)
Schott, Anna  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Plogmeyer, Marcel  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Link to Espacenet
https://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=de_EP&FT=D&date=20240620&CC=DE&NR=102022213858A1&KC=A1
Patent Number
DE102022213858 A1
Publication Date
June 20, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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