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Title
Hybrid-gefertigter Wellenleiter
Date Issued
2024-06-27
Patent No
DE102022214246 A1
Abstract
Ein Verfahren zum Herstellen einer Wellenleiterstruktur umfasst ein additives Herstellen einer ersten Teilstruktur für die Wellenleiterstruktur auf einer Substratoberfläche eines Substrats und ein Herstellen einer zweiten Teilstruktur für die Wellenleiterstruktur. Das Verfahren umfasst ein Stapeln der zweiten Teilstruktur mit der ersten Teilstruktur, um eine gestapelte Struktur zu erhalten, die die Wellenleiterstruktur zumindest teilweise bildet. Die erste Teilstruktur und die zweite Teilstruktur greifen ineinander, so dass eine parallel zu einer Substrathauptseite des Substrats angeordnete Ebene die erste Teilstruktur und die zweite Teilstruktur schneidet.
Language
de