Strahlungsquelle und Verfahren zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung mit einer Mehrzahl von Frequenzen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Strahlungsquelle zum Erzeugen elektromagnetischer Strahlung mit einer Mehrzahl von Frequenzen, wobei die Strahlungsquelle eine Anfangsquelle, einen nichtlinear optischen Frequenzkonverter, einen Konversionsdetektor und eine Steuerung aufweist. Die Steuerung ist derart eingerichtet, dass wobei die Steuerung derart eingerichtet ist, dass sie in dem Betrieb der Strahlungsquelle in einem ersten Betriebsmodus das Konversionssteuersignal in Abhängigkeit von dem Konversionsmesssignal derart erzeugt, dass die Resonanzfrequenz so geregelt ist, dass sie der Anfangsmittenfrequenz folgt. Ergänzend sieht die Erfindung vor, dass die Steuerung in dem Betrieb der Strahlungsquelle auswählbar zwischen dem ersten Betriebsmodus und einem zweiten Betriebsmodus umschaltbar ist. Dabei ist die Steuerung derart eingerichtet, dass sie in dem zweiten Betriebsmodus das Konversionssteuersignal derart erzeugt, dass die Leistung der konvertierten Strahlung so geregelt ist, dass enteder die Leistung der konvertierten Strahlung eine geringere relative zeitliche Schwankung aufweist als die Leistung der Anfangsstrahlung in der Strahlrichtung vor dem Einkoppelspiegel oder die Leistung der Anfangsstrahlung in der Strahlrichtung nach dem Einkoppelspiegel eine geringere relative zeitliche Schwankung aufweist als die Leistung der Anfangsstrahlung in der Strahlrichtung vor dem Einkoppelspiegel.