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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Erfassung und Klassifizierung von extrahierten Partikeln
 
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2024
Journal Article
Title

Erfassung und Klassifizierung von extrahierten Partikeln

Other Title
Detection and classification of extracted particles
Abstract
Die Fluoreszenzbildgebung erlaubt eine effiziente Erkennung kontrastarmer heller Partikel auf ebenfalls hellen Analysefiltern. In Kombination mit der Erfassung metallischer Reflexe unter UV-Beleuchtung lassen sich darüber hinaus die Partikel in metallisch oder nicht-metallisch klassifizieren. Möglich macht dies ein neuartiger optischer Sensor.
Author(s)
Kardamaki, Evangelia
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Buchta, Dominic  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Blättermann, Alexander  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Carl, Daniel  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Journal
JOT. Journal für Oberflächentechnik  
DOI
10.1007/s35144-024-3143-7
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Keyword(s)
  • Fluoreszenzmesstechnik

  • Partikelerkennung

  • Optischer Sensor

  • Oberflächenmesstechnik

  • Oberflächenreinheit

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