Reflexionsminderndes Schichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines reflexionsmindernden Schichtsystems

Es wird ein reflexionsminderndes Schichtsystem (1) mit einem effektiven Brechungsindexprofil (10), das sich zwischen einer substratseitigen Oberfläche (11) und einer Grenzfläche (12) zu einem Umgebungsmedium erstreckt, angegeben, wobei- der effektive Brechungsindex des Schichtsystems von der substratseitigen Oberfläche in Richtung der Grenzfläche zu dem Umgebungsmedium im Mittel abnimmt;- das effektive Brechungsindexprofil mindestens zwei lokale Minima (MIN1, MIN2,...) aufweist; und- ein der Grenzfläche zum Umgebungsmedium am nächsten gelegenes lokales Minimum von der Grenzfläche beabstandet ist.

In an embodiment a layer system includes an effective refractive index profile extending between a substrate-side surface and an interface with an ambient medium, wherein an effective refractive index of the layer system decreases on average from the substrate-side surface in a direction of the interface with the ambient medium, wherein the effective refractive index profile has at least two local minima, and wherein a local minimum closest to the interface with the ambient medium is spaced from the interface.