Verfahren zur Kalibrierung der Empfindlichkeit ein- oder mehrachsiger Magnetfeldsensoren

Bei einem Verfahren zur Kalibrierung der Empfindlichkeit eines ein- oder mehrachsigen Magnetfeldsensors wird der Magnetfeldsensor nacheinander wenigstens drei Magnetfeldern mit unterschiedlichen Magnetfeldvektoren ausgesetzt, die beliebig im Raum orientiert sein können, so dass sie ein schiefwinkliges Koordinatensystem aufspannen. Die Magnetfelder werden mit dem Magnetfeldsensor gemessen, um für jede Sensorachse einen Empfindlichkeitsvektor im schiefwinkligen Koordinatensystem der Magnetfeldvektoren zu erhalten. Mit einer Transformationsmatrix werden die Empfindlichkeitsvektoren in ein orthogonales Koordinatensystem transformiert und Empfindlichkeit und Querempfindlichkeit jeder Sensorachse dann auf Basis der transformierten Empfindlichkeitsvektoren direkt oder nach weiterer Transformation berechnet. Das Verfahren ermöglicht eine schnelle und präzise Kalibrierung aller Empfindlichkeiten eines Magnetfeldsensors, da es keine orthogonalen Magnetfelder benötigt.

In a method for calibrating the sensitivity of a monoaxial or multiaxial magnetic field sensor, the magnetic field sensor is exposed consecutively to at least three magnetic fields having different magnetic field vectors which may be freely orientated in space so that they span an oblique coordinate system. The magnetic fields are measured with the magnetic field sensor in order to obtain a sensitivity vector in the oblique coordinate system of the magnetic field vectors for each sensor axis. The sensitivity vectors are transformed into an orthogonal coordinate system via a transformation matrix, and sensitivity and transverse sensitivity of each sensor axis are then calculated on the basis of the transformed sensitivity vectors either directly or following a further transformation. The method enables rapid, precise calibration of all sensitivities of a magnetic field sensor, since it does not require any orthogonal magnetic fields.