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2022
Presentation
Title
Simulationsgestützte Ursachenklärung von Prozessinhomogenitäten auf der Waferoberfläche
Title Supplement
Vortrag gehalten beim 1. Workshop Simulationsgestützte Forschung für die Energiebranche - Chancen und Möglichkeiten der Finite Elemente Methode 2022, Online, 25.10.2022