Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption. Abschlussbericht

Zunächst sollen kommerziell erhältliche Metallprekursoren gesichtet und mittels des 2-Photonen-Absorptions-basierten Laserdirektschreibens hinsichtlich ihrer Eignung für den Prozess untersucht werden. Dafür ist eine bestehende LDW-Anlage am IMM, so umzubauen, dass eine Abscheidung aus der Gasphase möglich wird (Auslegung und Aufbau eines geeigneten Rezipienten). Basierend auf den am besten geeignetsten Prekursoren (vorzugsweise für Gold und Silber), sollen dann zunächst Teststrukturen zur Ermittlung der minimal möglichen Strukturgrößen für den 2D-Fall hergestellt und charakterisiert werden. Diese sind anschließend auf den 3D-Fall zu übertragen, wobei auch geeignete Schreibstrategien zu entwickeln sind (keine Stützmatrix vorhanden). Danach sollen optisch wirksame photonische Kristallstrukturen erzeugt werden, die hinsichtlich ihrer optischen Eigenschaften mittels ortsaufgeöster Transmissionsspektroskopie charakterisiert werden sollen. Die Charakterisierung mittels ortsaufgelöster Transmissionsspektroskopie soll im Unterauftrag erfolgen, da am IMM ein entsprechendes Gerät nicht vorhanden ist. Im letzten Schritt sollen Anwendungsbeispiele realisiert werden, welche die Möglichkeiten der Technologie demonstrieren.