February 22, 2023
Master Thesis
Title

Manufacturing and Characterization of Silicon Microvalves

Thesis Note
München, Hochschule, Master Thesis, 2023
Author(s)
Sirajudeen, Shebeeb
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Advisor(s)
Kersch, Alfred
Hochschule für angewandte Wissenschaften München  
Anheuer, Daniel  
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
Language
English