MEMS-basierte katalytische Sensoren für brennbare Gase. E! 113779 MEscal. Schlussbericht

Das übergreifende Ziel des vorliegenden Verbundprojektes war die Realisierung eines auf MEMS-Technologie basierenden Pellistorsensors zur Detektion von entflammbaren Gasen mit dem Schwerpunkt auf Methan, wobei neue, katalytisch aktive Materialien mit verbesserten Eigenschaften entwickelt werden sollten. Durch die Kombination eines verbesserten Sensordesigns mit einem aktiveren Katalysator sollte der Sensorbetrieb bei geringeren Arbeitstemperaturen als bei konventionellen Pellistoren (<450 °C) ermöglicht werden. Dank der geringeren Arbeitstemperatur soll die Energieeffizienz des Sensors erhöht und die Vergiftungsanfälligkeit des Katalysators gegenüber Siloxanen verbessert werden.
Zu den Hauptaufgaben von Fraunhofer IPM gehörte die Entwicklung des neuartigen Katalysators, die Herstellung druckbarer Tinten aus den geeigneten Katalysatoren und die Aufbringung der ausgewählten Katalysatoren auf die Sensorsubstrate zur Charakterisierung ihres Gasverhaltens.