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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor
 
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2019
Konferenzbeitrag
Titel

Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor

Alternative
Highly dynamic pressure pulse analysis of a micromembrane pump using an in-line MEMS sensor
Abstract
Vorgestellt wird die hochdynamische Analyse des pulsatilen Flusses von Mikromembranpumpen mithilfe eines in-line MEMS-Sensors. Die Druckpulscharakteristik der Mikromembranpumpe wird phänomenologisch beschrieben und die Abhängigkeit des Sensorsignals von der Aktuierungs-Signalform wird dargelegt. Des Weiteren wird auf die Einflüsse der fluidischen Peripherie auf das Sensorsignal und die sich somit ergebende Rückverfolgbarkeit auf Fluidsystemgrößen eingegangen.
Author(s)
Durasiewicz, C.P.
Thalhofer, T.
Hauptwerk
MikroSystemTechnik Kongress 2019
Konferenz
MikroSystemTechnik Kongress 2019
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Language
Deutsch
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