Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor

Vorgestellt wird die hochdynamische Analyse des pulsatilen Flusses von Mikromembranpumpen mithilfe eines in-line MEMS-Sensors. Die Druckpulscharakteristik der Mikromembranpumpe wird phänomenologisch beschrieben und die Abhängigkeit des Sensorsignals von der Aktuierungs-Signalform wird dargelegt. Des Weiteren wird auf die Einflüsse der fluidischen Peripherie auf das Sensorsignal und die sich somit ergebende Rückverfolgbarkeit auf Fluidsystemgrößen eingegangen.