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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. One-step fabrication of hierarchical structures
 
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2017
Poster
Title

One-step fabrication of hierarchical structures

Title Supplement
Poster presented at International Workshop on Advanced 3D Patterning, ad3pa 2017, Dresden, Germany, October 5-6, 2017
Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Baier, Leander  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Stumpf, Florian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Becker, Marco
NanoWorld Services GmbH
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Conference
International Workshop on Advanced 3D Patterning (ad3pa) 2017  
File(s)
Download (5.65 MB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-398274
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • hierarchical structure

  • direct laser writing

  • nanoimprint lithography

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