• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    or
  • Research Outputs
  • Projects
  • Researchers
  • Institutes
  • Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds
 
  • Details
  • Full
Options
2017
Presentation
Titel

One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds

Titel Supplements
Presentation held at 4. Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale", PRN 2017, Aachen, 8.5.2017 - 9.5.2017
Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Baier, Leander
Fraunhofer-Institut fĂĽr Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Marhenke, Julius
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Fraunhofer-Institut fĂĽr Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Michel, Felix
Fraunhofer-Institut fĂĽr Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Becker, Marco
Nanoworld Services GmbH
Rommel, Mathias orcid-logo
Fraunhofer-Institut fĂĽr Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Konferenz
Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale" (PRN) 2017
DOI
10.24406/publica-fhg-396549
File(s)
N-445513.pdf (2.22 MB)
Language
English
google-scholar
Fraunhofer-Institut fĂĽr Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Tags
  • nanoimprint

  • direct laser writing

  • PDMS

  • hierarchical structures

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Send Feedback
© 2022