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Konferenzschrift
One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds
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2017
Presentation
Titel
One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds
Titel Supplements
Presentation held at 4. Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale", PRN 2017, Aachen, 8.5.2017 - 9.5.2017
Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Baier, Leander
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Marhenke, Julius
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Michel, Felix
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Becker, Marco
Nanoworld Services GmbH
Rommel, Mathias
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Konferenz
Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale" (PRN) 2017
File(s)
N-445513.pdf (2.22 MB)
Language
English
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Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Tags
nanoimprint
direct laser writing
PDMS
hierarchical structur...
