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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds
 
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2017
Presentation
Title

One-step fabrication of hierarchical structures by direct laser writing through PDMS molds

Title Supplement
Presentation held at 4. Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale", PRN 2017, Aachen, 8.5.2017 - 9.5.2017
Author(s)
Rumler, Maximilian
Lehrstuhl für elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Baier, Leander  
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Marhenke, Julius
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Kollmuss, Manuel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Michel, Felix
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Becker, Marco
Nanoworld Services GmbH
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Conference
Internationale Konferenz "Polymer Replication on Nanoscale" (PRN) 2017  
DOI
10.24406/publica-fhg-396549
File(s)
N-445513.pdf (2.22 MB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • nanoimprint

  • direct laser writing

  • PDMS

  • hierarchical structures

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