2016
Presentation
Title

Stamps for nanoimprint lithography - R&D at Fraunhofer IISB

Title Supplement
Presentation held at NIL Industrial Day 2016, Vienna, March 10th - 11th, 2016
Author(s)
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Scharin, Marina
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
Fader, R.
Schmidt, H.
Conference
DOI
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Language
English
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