2015
Poster
Titel

Thin film metallization of PDMS with improved adhesion properties for micro electrode arrays
Titel Supplements
Presented at the 14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, NNT 2015. 22-24 October 2015, Napa, California
Author(s)
Scharin, Marina
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Newcomer, Kate
Department of NanoEngineering, University of California, San Diego, USA
Dirnecker, Tobias
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Al-Naimi, A.
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Rommel, Mathias orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Konferenz
DOI
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Language
English
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