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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Thin film metallization of PDMS with improved adhesion properties for micro electrode arrays
 
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2015
Poster
Title

Thin film metallization of PDMS with improved adhesion properties for micro electrode arrays

Title Supplement
Poster presented at MNE 2015, 41st International Conference on Micro and Nano Engineering, The Hague, Netherlands, 21-24 September 2015
Author(s)
Scharin, Marina
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Newcomer, Kate
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg; Department of NanoEngineering, University of California, San Diego
Al-Naimi, Abd
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Dirnecker, Tobias
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Conference
International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE) 2015  
DOI
10.24406/publica-fhg-389201
File(s)
N-360554.pdf (3.05 MB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • X-PDMS

  • PDMS

  • microstructured PDMS

  • plasma treatment

  • cell adhesion

  • cell growth

  • X-PDMS

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