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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Large area fabrication of hybrid polymer waveguides for planar Bragg grating sensors using UV-enhanced Substrate Conformal Imprint Lithography (UV-SCIL)
 
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2015
Poster
Title

Large area fabrication of hybrid polymer waveguides for planar Bragg grating sensors using UV-enhanced Substrate Conformal Imprint Lithography (UV-SCIL)

Title Supplement
Poster presented at Workshop on µ-contact-printing and nanoimprint technology, Dresden, March 9th, 2015
Author(s)
Förthner, Michael
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente, Universität Erlangen-Nürnberg
Fader, Robert
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Girschikofsky, M.
University of Applied Sciences Aschaffenburg, Aschaffenburg
Belle, S.
University of Applied Sciences Aschaffenburg, Aschaffenburg
Hellmann, R.
University of Applied Sciences Aschaffenburg, Aschaffenburg
Klein, Jan Jasper
micro resist technology GmbH, Berlin
Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft DFG  
Conference
Workshop on µ-contact-printing and nanoimprint technology 2015  
File(s)
Download (2.32 MB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-388209
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • nanoimprint

  • UV-SCIL

  • hybrid polymers

  • Bragg grating sensors

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