LARGE - großflächige Atmosphärendruck-Plasmabehandlung

Einsatzfelder für Atmosphärendruckplasmen sind beispielsweise die Funktionalisierung von Verbundmaterialien zur Verbesserung der Adhäsion oder der Auftrag von Haftvermittlerschichten zum strukturellen Kleben. Zu diesen Themen wird am Fraunhofer IWS mit der LARGE (Long-Arc-Generator) Plasmaquelle gearbeitet. Mit dieser wird ein linearer Lichtbogen mit einer skalierbaren Länge von bis zu 350 mm generiert. Ein besonderes Merkmal dieser ist die Möglichkeit der Verwendung einer Vielzahl von Plasmagasen sowie deren Mischung, z. B. Druckluft, Ar +N2, O2, CO2, H2 ect. Im Vortrag werden diese charakterisiert und Beispiele für deren Einsatzgebiete gezeigt. Schwerpunkt des Vortrages ist die Darstellung der SiO2-Haftvermittlerschichtabscheidung im offenen System. Durch die Adaption einer Reaktivgaszuführung an die LARGE-Plasmaquelle können die Precursoren HMDSO oder TEOS in das Plasma eingespeist werden. Die SiO2-Schichteigenschaften werden von vielen Prozessparametern (Beschichtungsabstand, Prozessgeschwindigkeit, Plasmagas, Reaktivgaszuführungsdesign und Material ect.) bestimmt. Teile der präsentierten Ergebnisse entstanden im Rahmen des EU-Förderprojektes Process LineImplementation for Applied Surface Nanotechnologies (PLIANT), www.pliant.eu