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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Large area fabrication of hybrid polymer waveguides for planar Bragg grating sensors using UV-enhanced Substrate Conformal Imprint Lithography (UV-SCIL)
 
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2014
Poster
Title

Large area fabrication of hybrid polymer waveguides for planar Bragg grating sensors using UV-enhanced Substrate Conformal Imprint Lithography (UV-SCIL)

Title Supplement
Poster presented at NNT 2014, 13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology, Kyoto, Japan, October 22-24, 2014
Author(s)
Förthner, Michael
Lehrstuhl für elektronische Bauelemente
Fader, Robert
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rumler, Maximilian
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Rommel, Mathias  orcid-logo
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Frey, Lothar
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Girschikofsky, Maiko
Hochschule Aschaffenburg
Belle, Stefan
Hochschule Aschaffenburg
Hellmann, Ralf
Hochschule Aschaffenburg
Klein, Jan Jasper
micro resist technology GmbH
Project(s)
BRAGG
Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft DFG  
Conference
International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT) 2014  
DOI
10.24406/publica-fhg-385456
File(s)
N-311374.pdf (2.24 MB)
Rights
Under Copyright
Language
English
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • nanoimprint

  • SCIL

  • Bragg grating sensor

  • hybride polymers

  • ormocere

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