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Konferenzschrift
Fehlpassung bei der Homo- und Heteroepitaxie
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2013
Presentation
Title
Fehlpassung bei der Homo- und Heteroepitaxie
Title Supplement
Vortrag gehalten im Rahmen der jDGKK am 05.03.2013 in Erlangen
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Author(s)
Kallinger, Birgit
Conference
Deutsche Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzücthung (Junge DGKK Seminar) 2013
DOI
10.24406/publica-fhg-379802
File(s)
003.pdf (947.33 KB)
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Rights
Under Copyright
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Keyword(s)
Epitaxie
Fehlpassung
Halbleiter mit großer Bandlücke
Wide-Band-Gap semiconductors
SiC
nitride
