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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Fehlpassung bei der Homo- und Heteroepitaxie
 
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2013
Presentation
Title

Fehlpassung bei der Homo- und Heteroepitaxie

Title Supplement
Vortrag gehalten im Rahmen der jDGKK am 05.03.2013 in Erlangen
Author(s)
Kallinger, Birgit  orcid-logo
Conference
Deutsche Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzücthung (Junge DGKK Seminar) 2013  
File(s)
Download (947.33 KB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-379802
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)
  • Epitaxie

  • Fehlpassung

  • Halbleiter mit großer Bandlücke

  • Wide-Band-Gap semiconductors

  • SiC

  • nitride

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