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Konferenzschrift
Entwicklung von Antihaftschichten auf Schablonen zur Optimierung von Druckprozessen in der Mikroelektronik
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2006
Conference Paper
Title
Entwicklung von Antihaftschichten auf Schablonen zur Optimierung von Druckprozessen in der Mikroelektronik
Author(s)
Haupt, Michael
Oehr, C.
Ruhfass, R.
Schmidt, R.
Mainwork
Elektronische Baugruppen. Aufbau- und Fertigungstechnik - Erfolg durch Innovation
Conference
Fachtagung Elektronische Baugruppen - Aufbau und Fertigungstechnik 2006
Language
German
Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik IGB
