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Konferenzschrift
Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
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2006
Conference Paper
Title
Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
Author(s)
Sandner, T.
Schmidt, J.U.
Schenk, H.
Lakner, H.
Yang, M.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Gatto, A.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Kaiser, N.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Braun, S.
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Foltyn, T.
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Leson, A.
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Mainwork
MOEMS display, imaging, and miniaturized microsystems IV
Conference
Conference "MOEMS, Display, Imaging, and Miniaturized Microsystems" 2006
DOI
10.1117/12.644626
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Keyword(s)
MOEMS
micro scanning mirror
NIR-VIS-UV
highly reflective coating
high optical power density
