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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Polierverfahren in der Halbleiterfertigung
 
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2004
Conference Paper
Title

Polierverfahren in der Halbleiterfertigung

Author(s)
Pfitzner, L.
Bär, E.  orcid-logo
Frickinger, J.
Nguyen, H.
Nutsch, A.
Mainwork
Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik  
Conference
Freiberger Siliciumtage 2003  
Freiberger Forschungsforum 2003  
Berg- und Hüttenmännischer Tag 2003  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
Keyword(s)

  • Polierprozeß

  • Siliciumscheiben-Herstellung

  • Halbleiterfertigung

  • integrierte Schaltung

  • Prozess-Simulation

  • Scheiben-Reclaim

  • Prozess-Kontrolle

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