FEM-Analyse des Zeitverhaltens einer thermosensitiven Mikrostruktur - Thermopile

Zur Charakterisierung von Thermopiles, einer Reihenschaltung vieler Thermoelemente, dienen neben statischen Kenngrößen wie Empfindlichkeit und Detektivität auch deren transiente Eigenschaften. Mit dem Programm ANSYS werden die Zeitkonstanten verschiedener, in CMOS-kompatibler Technologie gefertigter Thermopilestrukturen bestimmt und mit Messungen verglichen. Darüber hinaus wird der Einfluß einer auf dem Sensorchip integrierten, das Mikrosystem vervollständigenden, elektronischen Auswerteschaltung auf das ursprüngliche Sensorsignal simuliert. Neben der stationären Veränderung des Meßsignals ist auch hier das zeitliche Verhalten von besonderem Interesse. Den berechneten Resultaten werden Meßergebnisse gegenübergestellt.