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1990
Conference Paper
Title
Plasmapolymerisation zur Erzeugung dünner Schichten und ihre Analytik
Abstract
Im FHIGB werden verschiedene Beschichtungs- und Oberflächenmodifizierungsverfahren zur gezielten Beeinflußung von Grenzflächeneigenschaften wie z.B. Adhäsion, Benetzbarkeit, Korrosion, Biokompatibilität oder zur Herstellung von Gaspermeationsmembranen angewandt. Neben konventionellen naßchemischen Verfahren gehören dazu Abscheidungstechniken aus der Gasphase wie die Kathodenzerstäubung und die plasmagestützte Abscheidung.
Conference