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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Plasmapolymerisation zur Erzeugung dünner Schichten und ihre Analytik
 
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1990
Conference Paper
Title

Plasmapolymerisation zur Erzeugung dünner Schichten und ihre Analytik

Abstract
Im FHIGB werden verschiedene Beschichtungs- und Oberflächenmodifizierungsverfahren zur gezielten Beeinflußung von Grenzflächeneigenschaften wie z.B. Adhäsion, Benetzbarkeit, Korrosion, Biokompatibilität oder zur Herstellung von Gaspermeationsmembranen angewandt. Neben konventionellen naßchemischen Verfahren gehören dazu Abscheidungstechniken aus der Gasphase wie die Kathodenzerstäubung und die plasmagestützte Abscheidung.
Author(s)
Hellwig, G.  
Oehr, C.  
Schindler, B.  
Bauser, H.  
Mainwork
Wer macht was in den Physikalischen Technologien. Dünnschichttechnologien, Lasertechnik, Plasmatechnik, Supraleitung. Tagungsband  
Conference
Tagung "Wer macht Was" 1990  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik IGB  
Keyword(s)
  • Oberflächenanalytik

  • Oberflächenmodifizierung

  • Plasmadiagnostik

  • plasmapolymerisation

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