Mikroelektromechanischer Antrieb zum Bewegen von Objekten

Die Erfindung bezieht sich auf einen mikroelektromechanischen Antrieb (1) zum Bewegen eines Objekts, der elektrostatische Biegeaktuatoren (10) aufweist, wobei jeder elektrostatische Biegeaktuator (10) einen Ausleger (2) aufweist, der zumindest ein aktives Element (3) aufweist, das einen Schichtstapel aufweist, der zumindest einen Kondensator bildet, der versetzt zu einer Schwerpunktebene (4) des Auslegers (2) positioniert ist, entlang einer Längsachse (4) des Auslegers (2) von einem gestützten Ende (5) des Auslegers (2) zu einem losen Ende (6), das von dem gestützten Ende (5) des Auslegers (2) abgewandt ist und das eine Kontaktfläche (7) zum Ineingriffnehmen des Objekts aufweist.Der mikroelektromechanische Antrieb (1) kann dazu verwendet werden, Zielobjekte (20) mit nanoskopischen bis makroskopischen Größen, die innerhalb der Kraft-Verschiebung-Konfigurationen der elektrostatischen Biegeaktuatoren (10) liegen, zu verschieben. Der mikroelektromechanische Antrieb (1) ist dazu geeignet, als Raupenantrieb zu dienen.