Verfahren und Tiegel zur Herstellung von partikel- und stickstoff-freien Silicium-Ingots mittels gerichteter Erstarrung, Silicium-Ingot und die Verwendung des Tiegels

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und einen Tiegel zur Herstellung von partikel- und stickstoff-freien Silicium-Ingots mittels gerichteter Erstarrung, bei dem ein Tiegel bereit gestellt wird, wobei die Innenfläche des Tiegels vollflächig oder zumindest bereichsweise eine SixNyenthaltende Beschichtung aufweist, die mit einer SiOxenthaltenden Schutzschicht zur Reduzierung oder Vermeidung des Eintrags von Stickstoff und SixNy-Partikeln in das Silicium beschichtet ist. Ebenso betrifft die Erfindung einen Silicium-Ingot, der quasi frei von Stickstoff oder SixNy-Partikeln ist.