Verfahren zur Reduzierung von strukturellen Beschädigungen an der Oberfläche von einkristallinen Aluminiumnitrid-Substraten und derart herstellbare einkristalline Aluminiumnitrid-Substrate

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Reduzierung von strukturellen Beschädigungen an der Oberfläche von einkristallinen Aluminiumnitrid-Substraten, bei dem das Substrat in einem Tiegel in einem Autoklaven einer Temperaturbehandlung unterzogen wird, bei der das Aluminiumnitrid in den beschädigten Bereichen an der Oberfläche des Substrats sublimiert und abgetragen wird. Das Verfahren dient zur Oberflächenpräparation von einkristallinem Aluminiumnitrid (AIN), insbesondere sollen durch das Verfahren durch eine mechanische Prozessierung erzeugte oberflächennahe strukturelle Schäden im einkristallinen Material eliminiert oder zumindest stark reduziert werden. Ebenso betrifft die Erfindung derart behandelte Aluminiumnitrid-Substrate.