Method and device for classifying particulate contamination on a surface

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Klassifizieren einer partikelartigen Verunreinigung (2) auf einer Oberfläche (1) eines Prüflings (7) mit den Schritten: Beleuchten der Verunreinigung (2) mit elektromagnetischer Strahlung mit einer bezogen auf die Verunreinigung (2) ersten Beleuchtungsrichtung (9), Erfassen eines ersten Bildes der von der Strahlung aus der ersten Beleuchtungsrichtung (9) beleuchteten Verunreinigung (2) mit einer bezogen auf die Verunreinigung (2) ersten Beobachtungsrichtung (8), Beleuchten der Verunreinigung (2) mit elektromagnetischer Strahlung mit einer bezogen auf die Verunreinigung (2) zweiten Beleuchtungsrichtung (10), Erfassen eines zweiten Bildes der von der Strahlung aus der zweiten Beleuchtungsrichtung (10) beleuchteten Verunreinigung (2) mit einer bezogen auf die Verunreinigung (2) zweiten Beobachtungsrichtung, wobei a) entweder die erste Beleuchtungsrichtung (9) und die zweite Beleuchtungsrichtung (10) voneinander verschieden sind sowie die erste Beobachtungsrichtung (8) und die zweite Beobachtungsrichtung gleich sind oder b) die erste Beleuchtungsrichtung (9) und die zweite Beleuchtungsrichtung (10) gleich sind sowie die erste Beobachtungsrichtung (8) und die zweite Beobachtungsrichtung voneinander verschieden sind, Berechnen eines Maßes für eine Ähnlichkeit zwischen dem ersten Bild und dem zweiten Bild und Einordnen der Verunreinigung (2) in mindestens eine erste und eine zweite Klasse anhand des berechneten Maßes für die Ähnlichkeit.