Verfahren zum Herstellen einer CdTe-Solarzelle

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer CdTe-Solarzelle, wobei innerhalb einer Vakuumkammer (1) mindestens folgende Schichten auf einem Glassubstrat abgeschieden werden: eine als Frontkontakt fungierende TCO-Schicht; mindestens eine CdTe-Schicht; eine dünne Schicht einer chlorhaltigen Verbindung und eine als Rückkontakt fungierende elektrisch leitfähige Schicht. Dabei wird vor dem Abscheiden der mindestens einen CdTe-Schicht eine maximal 20 nm dicke Passivierungsschicht aus CdS, in welcher chemisch nicht gebundener Sauerstoff eingelagert ist, auf der TCO-Schicht abgeschieden.